晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式E52-CA20AS用戶手冊。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ONE52-CA20AS
導(dǎo)線長：2m。具有更大的傳感距離的安全安裝。
尺寸：M8，屏蔽。
檢測距離：2mm。
連接方式：M8連接器（3針）。
機(jī)身材料：不銹鋼。
螺紋長度（總長度）：27(39)。
輸出形式：PNP。
動作模式：NO。端子部形狀:導(dǎo)線直出型。
保護(hù)管直徑D：φ3.2mm。
保護(hù)管長度L：35cm。
導(dǎo)線種類：一般用E52-CA20AS用戶手冊。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應(yīng)品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。種類：直流2線式(無自診斷輸出功能)，屏蔽型。
形狀：M12。
檢測距離：3mm。
連接方式：M12 SmartClick 接插件中繼型（0.3m）。
導(dǎo)線規(guī)格：PVC（耐油）。
極性：有。
動作模式NC。
會提示線圈斷線等故障及檢測不穩(wěn)定狀態(tài)的自診斷功能輸出型品種齊全。
有助于實(shí)現(xiàn)預(yù)防性維護(hù)，防止生產(chǎn)線停轉(zhuǎn)。
簡化配線過程，降低資源使用，有效減小功 (直流2線式與直流3線式相比)
所有小口徑型號均采用屏蔽結(jié)構(gòu)E52-CA20AS用戶手冊。
即使將傳感器安裝在狹小區(qū)域或嵌入金屬中，仍然具有較高的工作穩(wěn)定性。
配有明亮醒目的指示燈，輕松查看安裝環(huán)境。導(dǎo)線長度：1m。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應(yīng)品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。提高了視覺識別性附帶了LED顯示的壓力傳感器。
通過數(shù)字顯示和各欄顯示可一目了然地確認(rèn)壓力狀態(tài)。
防止震震顫功能可防止因瞬間壓力變化而產(chǎn)生的誤輸出E52-CA20AS手冊。
自動示教功能對照現(xiàn)有物品來記住住OK品與NG品的壓力E52-CA20AS手冊。
28×28×29mm實(shí)現(xiàn)業(yè)界最小體積。
壓力范圍：正壓，0～100kPa。
輸出形式 (ON/OFF) ：集電極開路（獨(dú)立2輸出）。
線性輸出：1～5V。
輸出形式：PNP輸出。