監(jiān)測2波長的等離子發(fā)光量。
實現(xiàn)了高精度、小型化、低價格。
輕松實現(xiàn)蝕刻和清潔的端點的監(jiān)測。
輕公地進行蝕刻、清潔的等離子發(fā)光的監(jiān)測。
通過用過濾方式檢測2波長，實現(xiàn)小型化、低價格。單位：CPU單元。
名稱：經濟型（無法連接擴展I/O單元）。
I/O點數(shù)：10點。
LCD顯示器：是。
電源電壓：DC12～24VZJ-FW029AC
輸入：6點，DC12～24V。
繼電器輸出：4點。
按鈕、日歷和時鐘：是。
模擬量輸入：是。
使用增強功能和更高精確度，應用范圍更廣
纖巧本體（70mm寬×90mm高）中的增強功能。
使用LCD和操作按鈕可進行簡單編程。
此單個單元輕松提供繼電器、定時器、計數(shù)器和時間切換功能。
使用擴展I/O單元可輕松擴展，最多允許44點I/O。
系列中還新增了經濟型和通信型CPU單元。
每周定時器得以提高定時確度得以增強，每月偏差不超過正負15s。
還新增了多日操作和脈沖輸出操作。
從以下兩個電源選件中選取：AC100～240V或DC12～24V。輸入輸出電纜。
電纜長度：2m。
同級最高水準的真正除電。
利用傳感和可調AC方式實現(xiàn)高速細致的除電。
采用連接結構，保證大范圍均勻除電。
數(shù)字式離子顯示器，輕松準確設定。分類：高靈敏度。
接點間隔：H (0.25mm)。
驅動桿：小型線形擺桿型，OP大。
端子的種類：焊接端子。
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。分類：高容量。
接點間隔：E (1.8mm)。
驅動桿：面板安裝橫向滾珠柱塞型。
端子的種類：螺絲端子。
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。電源電壓：DC24V。
控制輸出：NPN輸出。光學系統(tǒng)：漫反射型。
檢測距離：350正負135mm。
光束形狀：點光束。
光束直徑：φ240μm。
分辨率：220μm。
電纜長度：0.5m。分類：瞬時動作。
輸出數(shù)：1位。
操作部顏色：藍色。
操作部形狀：請請查看目錄。
內置Z微動開關的長壽型。
通過使用微動開關，可直接開閉大容量負載。
通過操作內部的緩沖結構，保護開關部。
按鈕部為防滴型，在有飛濺油、水、塵埃等場所也能使用。
操作部共有3種形狀，6種顏色。